HD500-HD શ્રેણીના તદ્દન નવા કમ્પોઝિટ આયન કોટિંગ સાધનો
અનન્ય લેટરલ એચિંગ
√ લેટરલ એચિંગમાં ઉત્કૃષ્ટ એકરૂપતા
√ ઉત્તમ એચિંગ ઓવરહેંગ પ્રોપર્ટી અને અનુકૂળ જાળવણી
સંયુક્ત HiPIMS મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ
√ DC + HiPIMS MS સ્ત્રોતોથી સજ્જ, તે Nb, BC, W, V, વગેરે જેવી પ્રત્યાવર્તન ધાતુઓને જમા કરવા માટે ઊર્જા જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરતી વખતે ઉચ્ચ નિક્ષેપણ દર સુનિશ્ચિત કરે છે, અને લગભગ તમામ સામગ્રીને જમા કરવામાં સક્ષમ છે.
પ્લાઝ્મા-ઑપ્ટિમાઇઝ્ડ મલ્ટી-આર્ક સોર્સ
√ 6 ગોળાકાર મલ્ટી-આર્ક લક્ષ્ય સ્ત્રોતોના 3 જૂથોથી સજ્જ, છુપાયેલ આર્ક ઇનિશિયેશન મિકેનિઝમ વિશ્વસનીય અને જાળવવામાં સરળ છે.
√ તે સરળતાથી બહુ-તત્વ અને બહુ-સ્તરીય પાતળી ફિલ્મ જમા કરી શકે છે.
√ ઑપ્ટિમાઇઝ્ડ પ્લાઝ્મા મલ્ટી-આર્ક સ્ત્રોત સરળ પાતળી ફિલ્મ સપાટી સુનિશ્ચિત કરે છે.
√ લક્ષ્ય સામગ્રી ઉપયોગ દર અત્યંત ઊંચો છે.
બહુવિધ ડિપોઝિશન ટેકનોલોજી પ્લેટફોર્મ્સ
√ એક જ પ્લેટફોર્મ પર બહુવિધ પાતળી ફિલ્મ ડિપોઝિશન ટેકનોલોજીનો અનુભવ કરો, જેમાં DC MS + HiPIMS MS + મલ્ટી-આર્ક આયન પ્લેટિંગનો સમાવેશ થાય છે, અને તે જ બેચમાં સિંગલ, કમ્પોઝિટ અને મિશ્ર કોટિંગ પદ્ધતિઓનો અમલ કરી શકે છે.
| નામ | પરિમાણ |
| કોટિંગ ટેકનોલોજી | એકદમ નવી કમ્પોઝિટ કોટિંગ ટેકનોલોજી |
| કોતરણી | લેટરલ આયન સ્ત્રોત (ગરમ ફિલામેન્ટ) |
| મલ્ટી-આર્ક સ્ત્રોતો (સંખ્યા) | 6 |
| મેગ્નેટ્રોન કેથોડ્સ (સંખ્યા) | ૧ |
| સાધનનું કદ (મીમી) | લંબાઈ૩૪૦૦*પહોળાઈ૧૬૦૦*ઊંચાઈ૨૬૦૦ |
| ચેમ્બર વોલ્યુમ (m³) | ૦.૭ |
| અસરકારક કોટિંગ વિસ્તાર (મીમી) | એફ૪૧૦*૪૦૦ |
| મહત્તમ કાર્યકારી તાપમાન (℃) | ૭૦૦ |
| લોડિંગ ક્ષમતા (વૃક્ષોની સંખ્યા) | ૫ |
| બ્લેડ લોડિંગ (APMT1135) | ૬૦૦૦ પીસી |
| રોડ બ્લેડ લોડિંગ ક્ષમતા (D4*50L) | ૧૮૦૦ પીસી |
| મહત્તમ લોડિંગ વજન (કેજી) | ૩૦૦ |
| શાફ્ટ વ્યાસ | એફ૧૩૦ |
| પ્રક્રિયા સમય | AlTiN:6~8કલાક |


એચડી500
