એચિંગ ટેકનોલોજી

ખાસ રચાયેલ ચુંબકીય ક્ષેત્ર જે નમૂના સિસ્ટમને સમાન રીતે ઘેરી લે છે

એચિંગની ઉત્તમ એકરૂપતા

સારું વિવર્તન

ટ્યુનેબલ એચિંગ તાકાત

કોતરેલા મોડ્યુલો જાળવણી-મુક્ત છે

0102

પીવીડી કોટિંગ ટેકનોલોજી

ભૌતિક વરાળ નિક્ષેપ (PVD) તકનીક એ ભૌતિક સ્ત્રોત (ઘન અથવા પ્રવાહી) ની સપાટીને વાયુયુક્ત અણુઓ અથવા અણુઓમાં બાષ્પીભવન કરવાની અથવા આંશિક રીતે આયનીકરણ કરીને આયનોમાં રૂપાંતરિત કરવાની પ્રક્રિયાનો ઉલ્લેખ કરે છે, શૂન્યાવકાશની સ્થિતિમાં ભૌતિક પદ્ધતિઓનો ઉપયોગ કરીને, અને ઓછા દબાણવાળા ગેસ (અથવા પ્લાઝ્મા) પ્રક્રિયા દ્વારા સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર ચોક્કસ વિશિષ્ટ કાર્યો સાથે પાતળી ફિલ્મ જમા કરે છે. PVD એ મુખ્ય સપાટી સારવાર તકનીકોમાંની એક છે.

સંયુક્ત કોટિંગ ટેકનોલોજી: સમાન બાષ્પીભવન સ્ત્રોતમાં આર્ક અને મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ ટેકનોલોજીના ફાયદાઓને જોડે છે:

આર્ક આયન પ્લેટિંગ (AIP)

ઉચ્ચ આયનીકરણ દર

ઉચ્ચ ઘનતા

ઉચ્ચ ડિપોઝિશન દર

ઘણા સૂક્ષ્મ કણો

ખરબચડી સપાટી

G4 ઇન્ટિગ્રેટેડ કેથોડ

ઉચ્ચ આયનીકરણ દર

ઉચ્ચ ઘનતા

ઉચ્ચ ડિપોઝિશન દર

સુંવાળી સપાટી, કોઈ સૂક્ષ્મ કણો નહીં

ઓછો શેષ તણાવ

મેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ (MS)

સુંવાળી સપાટી, કોઈ સૂક્ષ્મ કણો નહીં

ઓછો શેષ તણાવ

ઓછો ડિપોઝિશન દર

ઓછો આયનીકરણ દર

PECVD કોટિંગ ટેકનોલોજી

પ્લાઝ્મા એન્હાન્સ્ડ કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (PECVD) એ એક પ્રક્રિયા છે જે અત્યંત શૂન્યાવકાશ વાતાવરણમાં અત્યંત સરળ, વળગી રહેલ આકારહીન હીરાના હાર્ડ એલોય કોટિંગ્સ જમા કરે છે. PVD પ્રક્રિયાઓની તુલનામાં, PECVD પ્રક્રિયાઓ ડીપ પ્લેટિંગ પાવર સપ્લાયનો ઉપયોગ કરે છે, કેથોડ લક્ષ્યોની જરૂર હોતી નથી, અને વર્કપીસને ફર્નેસ ચેમ્બરમાં ફેરવવાની જરૂર હોતી નથી. આ પ્રક્રિયા સ્વચ્છ, પ્રદૂષણ-મુક્ત, વિશ્વસનીય અને બહુવિધ કાર્યકારી કોટિંગ પ્રક્રિયા છે.

● સરળ હાર્ડવેર, કોઈ વધારાના આયનીકરણ સ્ત્રોતની જરૂર નથી

● સંયુક્ત ચુંબકીય ક્ષેત્ર ડિઝાઇન, આયનીકરણ દરમાં વધારો

● ઉચ્ચ નિક્ષેપણ ગતિ> 1μm/h

● નીચું ડિપોઝિશન તાપમાન ＜250℃

● સુંવાળી સપાટી, કોઈ મોટા સૂક્ષ્મ કણોનું દૂષણ નહીં

● પ્લાઝ્મા સફાઈ ઉત્પાદનો, જાળવણી-મુક્ત

બિન-સંતુલન બંધ ચુંબકીય ક્ષેત્રનું અનુકરણ

ઉચ્ચ ઘનતા પ્લાઝ્મા

પ્લાઝ્મા સફાઈ ઉત્પાદનો

PECVD (ac:H માટે)

વસ્ત્રો પ્રતિકાર, લુબ્રિકેશન, કાટ પ્રતિકાર અને ભાગોની ઉચ્ચ બંધન શક્તિ માટેની જરૂરિયાતોના આધારે, DLC કોટિંગ માળખાકીય રીતે મલ્ટિ-લેયર સ્ટ્રક્ચર, ગ્રેડિયન્ટ ટ્રાન્ઝિશન અને ઇન્ટરફેસ કમ્પોઝિટના ખ્યાલના આધારે ડિઝાઇન કરવામાં આવ્યું છે.

DLC કોટિંગ માળખું

જાડાઈ 2-4μm (વિવિધ જરૂરિયાતો પર આધાર રાખે છે)